RCA회원국 출신의 우수한 학생들에게 원자력 이론과 기술을 전수하고 RCA회원국의 원자력 발전을 도모하기 위해 운영되고 있는 RCA-KAIST 석사 프로그램은 RCA 사무국과 KAIST가 공동으로 2003년부터 운영하고 있으며, 선발된 학생에게 2년간의 납입금 전액, 생활비 및 편도 항공권 등을 지급하고 있다. 매년 지속적인 홍보를 통해 다양한 국가의 학생들이 장학 혜택을 받을 수 있도록 노력하고 있다.

대학원 과정 지원자는 지원서를 카이스트에 제출하기 전 예비 지도교수의 동의를 얻어야 하는데, 이를 위해서는 지원자가 지원하고자 하는 학과의 입학 담당자에게 연락하여 지원서와 관련 서류들을 제출해야 한다(preliminary application 과정). 이러한 preliminary application 과정에서 학과 입학 담당자에게 보내진 서류들은 해당 지도교수에게 보내져 심사과정을 거치게 되며 지도교수의 동의를 얻으면 지원자는 공식 지원서를 카이스트 입학처에 송부해야 한다.

카이스트 정규 과정에 선발된 학생의 등록금은 학생이 납부하는 것이 원칙이나, 우수한 학생들에게는 지원 가능한 범위 내에게 카이스트 장학금이 지급된다. 따라서 학생들은 카이스트 장학금에 지원하도록 권장된다.

원자력공학과 학사과정 및 대학원과정에 필요한 서류들은 내국인과 외국인 학생이 모두 동일하다. 자세한 사항은 카이스트 입학처 홈페이지에서 확인할 수 있다.